侧挡板
产品介绍
放置在上、下半月之间，用于腔室支撑和绝缘用途，同时带有SiC涂层，避免被外延工艺气体侵蚀
适用机型
SiC外延水平6吋&8吋机台
产品参数
基材：烧结SiC
涂层：β-SiC（厚度=110±10 μm）
特点：纯度高，绝缘，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
SiC外延
关键词
这里是占位文字
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侧挡板
放置在上、下半月之间，用于腔室支撑和绝缘用途，同时带有SiC涂层，避免被外延工艺气体侵蚀
SiC外延水平6吋&8吋机台
基材：烧结SiC
涂层：β-SiC（厚度=110±10 μm）
特点：纯度高，绝缘，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
SiC外延
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