产品与应用

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6吋Ring

6吋Ring

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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8吋Ring

8吋Ring

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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Cover-1

Cover-1

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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Cover-2

Cover-2

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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Cover-3

Cover-3

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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过渡件1

过渡件1

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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过渡件2

过渡件2

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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上半月

上半月

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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Rotation

Rotation

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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HOOD

HOOD

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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石墨基座

石墨基座

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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载盘

载盘

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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