HOOD
产品介绍
可用于6吋SiC外延生长，用于反应腔室的防护
适用机型
SiC外延垂直6吋机台
产品参数
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
SiC外延
关键词
这里是占位文字
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HOOD
可用于6吋SiC外延生长，用于反应腔室的防护
SiC外延垂直6吋机台
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
SiC外延
关键词
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