载盘
产品介绍
Si外延设备配件，可放置8吋&12吋硅衬底
适用机型
Epsilon 2000等Si外延同系列机台
产品参数
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
Si外延
关键词
这里是占位文字
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载盘
Si外延设备配件，可放置8吋&12吋硅衬底
Epsilon 2000等Si外延同系列机台
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
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Si外延
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