A8石墨盘
产品介绍
MOCVD设备配件，可放置41片4吋蓝宝石衬底，用于生长LED用蓝绿光外延片
适用机型
GaN外延PRISMO UniMax A8
产品参数
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=110±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
MOCVD石墨盘
关键词
这里是占位文字
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A8石墨盘
MOCVD设备配件，可放置41片4吋蓝宝石衬底，用于生长LED用蓝绿光外延片
GaN外延PRISMO UniMax A8
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=110±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
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MOCVD石墨盘
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