TaC圆环
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TaC圆环


产品介绍

可用于6吋和6吋、8吋的SiC晶体生长,减少晶棒缺陷

 

适用机型

第三代半导体SiC长晶炉

 

产品参数

基材:等静压石墨(纯度>6N)

涂层:TaC(厚度30~50 μm)

特点:致密度高,耐高温(<2600℃),耐腐蚀,寿命长


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产品类别

SiC长晶

关键词

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