TaC圆环
产品介绍
可用于6吋和6吋、8吋的SiC晶体生长,减少晶棒缺陷
适用机型
第三代半导体SiC长晶炉
产品参数
基材:等静压石墨(纯度>6N)
涂层:TaC(厚度30~50 μm)
特点:致密度高,耐高温(<2600℃),耐腐蚀,寿命长
产品类别
SiC长晶
关键词
这里是占位文字
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TaC圆环
可用于6吋和6吋、8吋的SiC晶体生长,减少晶棒缺陷
第三代半导体SiC长晶炉
基材:等静压石墨(纯度>6N)
涂层:TaC(厚度30~50 μm)
特点:致密度高,耐高温(<2600℃),耐腐蚀,寿命长
产品类别
SiC长晶
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