6吋晶圆载盘
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6吋晶圆载盘

产品介绍

放置SiC衬底，用于生长SiC外延片

 

适用机型

SiC外延水平6吋机台

 

产品参数

基材：等静压石墨（纯度>6N）

特点：纯度高，传热均匀性好，寿命长

电话:

155 8093 8874

电子邮件:

sales@lh-csm.com

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产品类别

SiC外延

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