石墨盘
产品介绍
置于母盘上, 放置Si衬底,用于GaN外延
适用机型
AIX 2800G4
产品参数
基材:等静压石墨(纯度>6N)
特点:纯度高,高导热,传热均匀性好,寿命长
产品类别
MOCVD石墨盘
关键词
这里是占位文字
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石墨盘
置于母盘上, 放置Si衬底,用于GaN外延
AIX 2800G4
基材:等静压石墨(纯度>6N)
特点:纯度高,高导热,传热均匀性好,寿命长
产品类别
MOCVD石墨盘
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