石墨盘
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石墨盘


产品介绍

置于母盘上, 放置Si衬底,用于GaN外延

 

适用机型

AIX 2800G4

 

产品参数

基材:等静压石墨(纯度>6N)

特点:纯度高,高导热,传热均匀性好,寿命长


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产品类别

MOCVD石墨盘

关键词

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