6吋Ring
产品介绍
放置在载盘的边缘，用于SiC衬底的限位
适用机型
SiC外延水平6吋机台
产品参数
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
SiC外延
关键词
这里是占位文字
推荐产品
产品咨询
请联系我们，联合半导体为您提供专业的定制服务
6吋Ring
放置在载盘的边缘，用于SiC衬底的限位
SiC外延水平6吋机台
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
SiC外延
关键词
这里是占位文字
推荐产品
产品咨询
请联系我们，联合半导体为您提供专业的定制服务
