Cover-3
产品介绍
放置在下半月的表面，做为下半月的防护件，避免被外延工艺气体侵蚀
适用机型
SiC外延水平6吋&8吋机台
产品参数
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
SiC外延
关键词
这里是占位文字
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请联系我们，联合半导体为您提供专业的定制服务
Cover-3
放置在下半月的表面，做为下半月的防护件，避免被外延工艺气体侵蚀
SiC外延水平6吋&8吋机台
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
SiC外延
关键词
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