过渡件1
产品介绍
连接反映腔室和进气石英管，作为外延生长所需工艺气氛的传输通道
适用机型
SiC外延水平6吋&8吋机台
产品参数
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
SiC外延
关键词
这里是占位文字
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过渡件1
连接反映腔室和进气石英管，作为外延生长所需工艺气氛的传输通道
SiC外延水平6吋&8吋机台
基材：等静压石墨（纯度>6N）
涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长
产品类别
SiC外延
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