下半月
产品介绍
连接石英管，可通入气体带动石墨盘基座旋转，可控温。可上半月、Cover搭配形成SiC外延的反应腔室
适用机型
SiC外延水平6吋&8吋机台
产品参数
基材：等静压石墨（纯度>6N）
特点：纯度高，发热均匀，传热均匀性好，寿命长
产品类别
SiC外延
关键词
这里是占位文字
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下半月
连接石英管，可通入气体带动石墨盘基座旋转，可控温。可上半月、Cover搭配形成SiC外延的反应腔室
SiC外延水平6吋&8吋机台
基材：等静压石墨（纯度>6N）
特点：纯度高，发热均匀，传热均匀性好，寿命长
产品类别
SiC外延
关键词
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