气浮托盘
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气浮托盘

产品介绍

底部具有气槽结构设计，可高速并带动晶圆载盘平稳旋转

 

适用机型

SiC外延水平6吋&8吋机台

 

产品参数

基材：等静压石墨（纯度>6N）

特点：纯度高，发热均匀，传热均匀性好，寿命长

电话:

155 8093 8874

电子邮件:

sales@lh-csm.com

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SiC外延

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