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A7石墨盘
基材:等静压石墨(纯度>6N)
涂层:β-SiC(厚度=110±10 μm)
特点:致密度高,耐高温耐腐蚀,涂层结合力强,寿命长
A8石墨盘
K465i石墨盘
UV-LED石墨盘