产品与应用

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SiC电极

基材:CVD SiC(纯度>6N)

特点:纯度高,耐腐蚀,高强度,化学性能稳定

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SiC环

基材:CVD SiC(纯度>6N)

特点:纯度高,耐腐蚀,高强度,化学性能稳定

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Si环

基材:Si(纯度>6N)

特点:纯度高,耐腐蚀,高强度,化学性能稳定

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Si电极

基材:Si(纯度>6N)

特点:纯度高,耐腐蚀,高强度,化学性能稳定

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刻蚀环/聚焦环

基材:CVD SiC(纯度>6N)

特点:纯度高,耐腐蚀,高强度,化学性能稳定,寿命长

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