产品与应用

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石墨基座

石墨基座

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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载盘

载盘

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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预热环

预热环

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=100±10 μm）

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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