产品与应用

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TaC圆环

TaC圆环

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：TaC（厚度30~50 μm）

特点：致密度高，耐高温(<2600℃)，耐腐蚀，寿命长

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8吋晶圆载盘（TaC）

8吋晶圆载盘（TaC）

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：TaC（厚度30~50 μm）

特点：致密度高，耐高温(<2600℃)，耐腐蚀，寿命长

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8吋晶圆顶升块（TaC）

8吋晶圆顶升块（TaC）

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：TaC（厚度30~50 μm）

特点：致密度高，耐高温(<2600℃)，耐腐蚀，寿命长

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