产品与应用

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侧挡板

侧挡板

基材：烧结SiC

涂层：β-SiC（厚度=110±10 μm）

特点：纯度高，绝缘，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强，寿命长

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退火盘

退火盘

基材：等静压石墨（纯度>6N）

涂层：β-SiC（厚度=110±10 μm）

特点：致密度高，耐高温，涂层结合力强，寿命长

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