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6吋晶圆载盘


<p>基材:等静压石墨(纯度&gt;6N)</p> <p>特点:纯度高,传热均匀性好,寿命长</p>

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8吋晶圆载盘


<p>基材:等静压石墨(纯度&gt;6N)</p> <p>特点:纯度高,传热均匀性好,寿命长</p>

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下半月


<p>基材:等静压石墨(纯度&gt;6N)</p> <p>特点:纯度高,发热均匀,传热均匀性好,寿命长</p>

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气浮托盘


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