产品与应用

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6吋晶圆载盘

基材:等静压石墨(纯度>6N)

特点:纯度高,传热均匀性好,寿命长

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8吋晶圆载盘

基材:等静压石墨(纯度>6N)

特点:纯度高,传热均匀性好,寿命长

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下半月

基材:等静压石墨(纯度>6N)

特点:纯度高,发热均匀,传热均匀性好,寿命长

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气浮托盘

基材:等静压石墨(纯度>6N)

特点:纯度高,发热均匀,传热均匀性好,寿命长

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石墨盘

基材:等静压石墨(纯度>6N)

特点:纯度高,高导热,传热均匀性好,寿命长

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长晶坩埚

基材:等静压石墨(纯度>6N)

特点:纯度高,高导热,传热均匀性好,寿命长

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